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本发明提供了一种面外压电式半球形微陀螺仪及其制备方法，包括：单晶硅基底、微型半球形谐振子、中心固定支撑柱、公共电极、均匀分布薄膜式压电体、均匀分布信号电极，本发明采用半球形结构作为谐振子，具有更大的有效振动位移，可增强柯氏效应的检测效果；采...
该专利属于上海交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海交通大学授权不得商用。

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