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本发明公开了一种延长Mo/Al蚀刻药液的使用寿命方法，通过实时检测药液槽中的金属离子含量，根据实时测得金属离子的浓度与设定的最高浓度值进行比较，判断采用哪一方式进行，如果金属离子含量超过预设值，则药液先通过交换系统把金属离子置换掉再进入药液...
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