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为了实时地检测钻头的折损，使光束沿套筒（23、24）的槽通过即可，但是有下述问题：由于套筒只是经由弹性体O型圈挤入到转台（21）上开设的孔中，所以若套筒反复进行与基板的接触·按压动作，则渐渐地套筒会发生转动，光束被遮挡从而发生错误检测。为解...
该专利属于维亚机械株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过维亚机械株式会社授权不得商用。

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