下载一种新型光臂放大式高精度长度传感器及测量方法的技术资料

文档序号:12016297

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本发明公开了一种新型光臂放大式高精度长度传感器及测量方法,该长度传感器包括:激光束一、激光束二;反射部件,反射部件上设有用于反射所述激光束一、激光束二的若干个反射面,每个反射面截面为凸起形状,所有反射面首尾相连构成反射面阵列;光电探测器一用...
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