下载芯片高精度检测用吸料装置的技术资料

文档序号:12003423

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本发明公开了芯片高精度检测用吸料装置,连接在检测台的正上方,实现对芯片的单一自动化移动,包括连接在检测台上方的若干个支撑臂,以及套在每一个支撑臂内的吸气装置;每一个吸气装置包括从下往上设置的吸嘴、气缸、活塞、气管,吸嘴连接在气缸底部位置,并...
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