温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种改善直拉法生长单晶硅质量的加热器，包括筒状的发热本体和固定在发热本体上的电极脚，所述发热本体上开设有沿周向交替布置的上开槽和下开槽，所述上开槽和下开槽将发热本体分成多根依次串联的加热条，其特征在于，所述加热条位于所述发热...
该专利属于汤灏所有，仅供学习研究参考，未经过汤灏授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。