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本发明涉及一种可动电感电极结构以及制备方法，所述可动电感电极结构，包括：上下隔离设置的上极板和下极板，用于形成MEMS中可变电容的两个电极板，其中所述上极板和所述下极板均选用平面螺旋电感，以使所述上极板和所述下极板在通电情况下相互运动。本发...
该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。

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