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本发明提供了一种透射电子显微镜样品的制备方法，包括：提供具有长度、宽度和厚度的样品，该样品上具有观测目标，该观测目标包含至少一个沿厚度方向的伸长结构或多层堆叠结构；在由长度和宽度方向界定的样品表面做标记，该标记与观测目标之间的距离在预设距离...
该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司授权不得商用。

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