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本发明提供了一种空心金属微针及其批量制备方法，步骤为：(1)在基片上溅射金属种子层作为导电层；(2)导电层上电镀金属层作为释放层；(3)释放层上甩光刻胶并图形化；(4)电镀金属填充图形，制作微针第一层，随后溅射金属种子层；(5)金属种子层上...
该专利属于上海交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海交通大学授权不得商用。

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