温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种应用于背向式激光内刻微通道的吸附加工装置，该装置包括底座、进气分气管、排气管连接器；待加工样品片的下表面完全覆盖住方形凹槽，使方形凹槽形成一密闭空间。下侧进气管道的中心管道处通入压缩空气，压缩空气一部分沿着管道排出，另一部分进入大方形凹...
该专利属于北京工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京工业大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。