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一种硅片亮边修磨装置制造方法及图纸
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文档序号:11986519
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一种硅片亮边修磨装置,其包括底板、连杆,所述的底板的工作面上设有减速电机,所述的减速电机的主轴上配装有转盘;与转盘相平行的在底板的工作面上设有导轨,所述的导轨上配装有滑台;转盘与连杆的一端相偏心铰接,连杆的另一端连接到滑台,所述的滑台的工作...
该专利属于阳光硅峰电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过阳光硅峰电子科技有限公司授权不得商用。
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