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降低硅片摩擦的装置制造方法及图纸
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下载降低硅片摩擦的装置的技术资料
文档序号:11984844
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本实用新型公开了一种降低硅片摩擦的装置,包括放置硅片的托盘,在所述托盘的侧边设有开有小孔的气管,所述小孔朝向硅片方向设置,所述气管连接外部气源,所述气管上设有调节气流流量大小的控制阀。本实用新型能够实现硅片上料时自动分离,避免了上料时硅片间...
该专利属于苏州润阳光伏科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州润阳光伏科技有限公司授权不得商用。
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