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一种高电阻温度系数氧化钒热敏薄膜材料及其制备方法技术
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文档序号:11984820
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一种高电阻温度系数氧化钒热敏薄膜材料及其制备方法,本发明的高电阻温度系数氧化钒热敏薄膜材料是以稀土元素钇作为掺杂剂制备,包括基片层和掺钇氧化钒薄膜层,掺钇氧化钒薄膜层包括钒、氧、钇三种元素,钇的原子百分比为1%-8%,钒的原子百分比为20-...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
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