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偏振光分束器、基板处理装置、器件制造系统及器件制造方法制造方法及图纸
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文档序号:11983923
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具备:保持反射型的光罩(M)的光罩保持筒(21);将入射的照明光束(EL1)朝向光罩(M)反射、并且使照明光束(EL1)被光罩(M)反射而得到的投影光束(EL2)透射的分束器(PBS);使照明光束(EL1)向分束器(PBS)入射的照明光学组...
该专利属于株式会社尼康所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社尼康授权不得商用。
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