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本实用新型涉及晶体生长设备，公开了一种多晶硅沉积炉，包括：由底盘和外壳形成的炉体、至少一根进气管、数根硅芯和硅芯加热装置；进气管从底盘穿进炉体并分布于硅芯之间；进气管分为内层和外层：内层一端封闭形成一个进气腔，用于通入含硅气体，另一端与外部...
该专利属于上海森松新能源设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海森松新能源设备有限公司授权不得商用。

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