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石墨烯和金属互连结构及其制造方法。使用石墨烯催化剂来生长多层石墨烯结构。所述石墨烯形成两个或多个通孔(16、36)或元件20或通孔和元件的组合之间的电连接30。通孔包括填充金属，其中填充金属36的至少一部分被势垒金属38包裹。所述元件可以是...
该专利属于国际商业机器公司所有，仅供学习研究参考，未经过国际商业机器公司授权不得商用。

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