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蓝宝石炉晶体生长提拉机构制造技术
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文档序号:11975614
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本发明蓝宝石炉晶体生长提拉机构,包括:机架,在机架内穿设有支撑轴;直线模组,直线模组设置在机架上,在直线模组上设有提拉伺服马达机构;提拉基座,提拉基座设置在直线模组上,提拉基座与提拉伺服马达机构连接;承重头,承重头的一端通过转轴与提拉基座转...
该专利属于上海汉虹精密机械有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海汉虹精密机械有限公司授权不得商用。
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