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一种抗干扰级联阶梯角反射镜激光干涉仪制造技术
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文档序号:11956476
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本实用新型公开了一种抗干扰级联阶梯角反射镜激光干涉仪,包括激光源、分光镜、阶梯平面角反射镜组、移动角反射镜、光电探测器组,其中激光源包括n个平行激光束,n≥2,光电探测器组包括n个光电探测器件,阶梯平面角反射镜组包括m个阶梯平面角反射镜与m...
该专利属于北方民族大学所有,仅供学习研究参考,未经过北方民族大学授权不得商用。
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