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本发明提供了在硅晶片制造一个或多个超小型压阻式压力传感器的方法。压阻式压力传感器的膜片是熔融粘结形成。压阻式压力传感器可以由硅沉积、光刻和蚀刻工艺形成。...
该专利属于苏州亘科医疗科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州亘科医疗科技有限公司授权不得商用。

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