下载碳氟聚合物的化学气相沉积的技术资料

文档序号:11940824

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本发明提供了一种用于在结构体的表面上形成碳氟聚合物的方法。引导原料气体通过多孔加热构件,所述构件具有的温度足以裂解所述原料气体并产生位于邻近在其上形成碳氟聚合物的结构体表面的位置处的反应性物质,所述反应性物质包含(CF2)n基团,其中n=1...
该专利属于吉列公司所有,仅供学习研究参考,未经过吉列公司授权不得商用。

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