下载压电体膜及其用途的技术资料

文档序号:11940021

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提供一种具有更高的退极化温度Td的压电体膜。本发明的压电体膜具备:仅具有(001)取向的(Nax1,Biy1)TiO0.5x1+1.5y1+2﹣BaTiO3层(14);和仅具有(001)取向的(Nax2,Biy2)TiO0.5x2+1.5y...
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