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压电体膜及其用途制造技术
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文档序号:11940021
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提供一种具有更高的退极化温度Td的压电体膜。本发明的压电体膜具备:仅具有(001)取向的(Nax1,Biy1)TiO0.5x1+1.5y1+2﹣BaTiO3层(14);和仅具有(001)取向的(Nax2,Biy2)TiO0.5x2+1.5y...
该专利属于松下知识产权经营株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过松下知识产权经营株式会社授权不得商用。
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