温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种薄膜晶体管的制作方法，包括：沉积非晶硅层的步骤；晶化处理，形成多晶硅层的步骤；形成有源层的步骤；形成沟道掺杂的步骤；碳离子注入的步骤；形成过孔的步骤；形成栅极绝缘层及栅极的步骤；形成源极及漏极的步骤。上述薄膜晶体管的制作方法可提高有源层...
该专利属于信利（惠州）智能显示有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过信利（惠州）智能显示有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。