温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种平面TEM样品的制备方法，至少包括以下步骤：提供一含有目标区域的样品，在所述目标区域下方和一侧距离为d1的位置分别做第一直线标记和第二直线标记；在与所述目标区域上方距离为d2的位置做第三直线标记；在所述第三直线标记的一端、与目...
该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。