下载电主轴中心处具有磨削冷却进水通道的减薄机的技术资料

文档序号:11935289

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本实用新型涉及集成电路封装设备,具体为电主轴中心处具有磨削冷却进水通道的减薄机。其包括砂轮(1),砂轮座(2),电主轴(3),冷却水运行通道(5);其特征在于:所述的电主轴(3)为空心结构,即其内部空心结构形成了冷却水运行通道(5);所述的...
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