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本实用新型公开了一种小片OGS高效激光蚀刻装置，包括工件安置机构、双CCD抓标机构和扫描蚀刻机构，工件安置机构包括光学平台、DD马达和吸附平台；在一个工件蚀刻加工的同时，吸附平台上的另一个工位可以同时完成上料操作；DD马达带动吸附平台旋转1...
该专利属于武汉先河激光技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉先河激光技术有限公司授权不得商用。

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