下载一种含有扩散阻挡层的GaN基复合衬底的技术资料

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本实用新型涉及一种含有扩散阻挡层的GaN基复合衬底,包括[导热导电]转移衬底,位于该转移衬底上的扩散阻挡层、及扩散阻挡层上的[导热导电]键合介质层和[转移后的]GaN基外延薄膜。本实用新型复合衬底,兼顾以往转移衬底技术实现的复合衬底具备的适...
该专利属于东莞市中镓半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过东莞市中镓半导体科技有限公司授权不得商用。

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