下载一种射频发生器的控制电路与检测系统的技术资料

文档序号:11914639

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本发明提供了一种射频发生器的控制电路与检测系统。其中,该控制电路包括:连接器、条件生成电路和电源模块;该电源模块与条件生成电路电连接,为条件生成电路提供设定的电压;条件生成电路通过连接器与射频发生器连接,为射频发生器提供作业条件。通过本发明...
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