下载一种波导激光器的制备方法的技术资料

文档序号:11914423

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本发明公开了一种波导激光器的制备方法,包括如下步骤:对晶体进行抛光,并清洗抛光后晶体的表面;在晶体表面蒸发一层镱膜,并高温扩散处理;在晶体表面镀一层金属保护膜,光刻刻出波导;对晶体进行质子交换,退火处理,形成光波导;对光波导进行反质子交换,...
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