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本发明涉及一种精密测试技术及仪器领域，特别涉及一种对比式抗干扰微动级联阶梯角反射镜激光干涉仪及标定方法和测量方法，对比式抗干扰微动级联阶梯角反射镜激光干涉仪，包括有激光源、微动阶梯角反射镜组、干涉测量光电探测器组、移动角反射镜和分光镜组，还...
该专利属于北方民族大学所有，仅供学习研究参考，未经过北方民族大学授权不得商用。

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