下载一种蓝宝石LED衬底晶圆棒的多只拼接定位平台的技术资料

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本实用新型涉及晶圆棒加工领域,尤其是涉及蓝宝石LED衬底晶圆棒的多只拼接定位平台,包括:基台、晶圆棒I、连接处、晶圆棒II、弹性缓冲面、移动滑块、固定螺母、精密螺杆、手柄,与现有技术相比具有的积极有益效果为:该装置配合X射线定向仪可快速对蓝...
该专利属于成都超迈光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过成都超迈光电科技有限公司授权不得商用。

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