温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明创造提供包括炉内缩放管和炉外缩放管，炉内缩放管包括气体进入段、收缩段和气体排出段，气体进入段为呈喇叭状扩口，收缩段和气体排出段均为直通管，收缩段的直通管管径小于气体排出段的直通管管径，炉外缩放管与气体排出段相连，炉外缩放管为管体外径等...
该专利属于天津市环欧半导体材料技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津市环欧半导体材料技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。