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检测装置、压印装置及物品的制造方法制造方法及图纸
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下载检测装置、压印装置及物品的制造方法的技术资料
文档序号:11902301
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本公开提供了一种检测装置、压印装置及物品的制造方法。所述检测装置被构造为检测由具有彼此不同的栅格节距的栅格图案生成的莫尔纹图案,所述检测装置包括:摄像单元,其被构造为拍摄所述莫尔纹图案的图像;成像光学系统,其被构造为使摄像单元对所述莫尔纹图...
该专利属于佳能株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过佳能株式会社授权不得商用。
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