温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种硅悬臂梁结构，包括带悬臂梁的硅片基底，在所述悬臂梁上刻蚀有凹槽，所述凹槽两个侧壁上分别设有多个圆孔结构，且两个侧壁上的圆孔结构呈一一对称设置，每个所述圆孔结构上淀积有锡纳米催化剂层，且每对呈一一对称设置的圆孔结构之间通过硅锗...
该专利属于东南大学所有，仅供学习研究参考，未经过东南大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。