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本实用新型涉及一种离子源，包括具有进气口和出气口的腔体、设置于所述腔体内的灯丝，在由所述进气口至腔体内部的方向上，所述灯丝位于所述进气口的前方，且所述灯丝在圆周方向上环绕一周形成环状结构。上述离子源，进气口、灯丝的位置对应，从进气口进入的气...该专利属于昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司;昆山国显光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司;昆山国显光电有限公司授权不得商用。