下载一种多晶硅还原炉尾气孔防掉硅装置的技术资料

文档序号:11876634

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及一种还原炉尾气孔防掉硅装置,安装于还原炉的底盘(3)上,与还原炉的尾气孔(4)对接,其特征在于:采用氮化硅陶瓷材质的钟罩式结构(1),侧面开排气孔(2),排气孔总截面积之和大于尾气孔的截面积。本实用新型解决了防止硅料碎块掉入尾...
该专利属于景德镇晶达新材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过景德镇晶达新材料有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。