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本发明公开了一种无线无源MEMS湿度传感器及其制备方法，所述传感器包括衬底，在衬底下方正中位置设空腔；在衬底的上表面由下至上依次设置下介质层、第一中间介质层、第二中间介质层、上介质层和吸湿层；在下介质层和第一中间介质层之间设置第一敏感电感和...
该专利属于东南大学所有，仅供学习研究参考，未经过东南大学授权不得商用。

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