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本发明提供一种电磁控溅镀阴极，包含:一导磁基板；一封闭排列的第一永久磁铁环，座于该导磁基板的外围上；一封闭排列的第二永久磁铁环座于该导磁基板中线上，该第二永久磁铁环与该第一永久磁铁环的N极相对于靶面为相反方向；一封闭的电磁线圈设于导磁基板上...
该专利属于兆阳真空动力股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过兆阳真空动力股份有限公司授权不得商用。

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