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本发明公开一种悬浮防震设备，包括防振悬浮台上该防振悬浮台具有刚性工作状态和柔性防振悬浮工作状态，该防振悬浮台包括一隔振腔，该隔振腔填充介质，该介质之上包括一安装基础，被保护的设备通过与该安装基础连接而被放置于该防振悬浮台上，在该刚性工作状态...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。

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