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本发明提供了一种薄膜体声波谐振器，包括：基底，该基底具有腔体结构；下电极层，该下电极层形成在所述基底之上并遮盖至少部分所述腔体结构；所述腔体结构与所述下电极层共同组成空腔；压电层，该压电层形成在所述下电极层之上；上电极层，该上电极层形成在所...
该专利属于贵州中科汉天下电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过贵州中科汉天下电子有限公司授权不得商用。

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