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本发明公开了一种扩散用石英舟的清洗方法，包括以下步骤：(1).清洗液的配置：向清洗槽体内放入数瓶40％的氢氟酸(HF)，数瓶37％的氯酸(HCl)以及数瓶浓度为66％的硝酸(HNO3)，再加入适量的去离子水；(2).对石英舟进行洗涤：将石英...
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