下载保持光学元件100级洁净度的方法及包装设备的技术资料

文档序号:11828520

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本发明提供了一种保持光学元件100级洁净度的方法及包装设备,保持光学元件100级洁净度的方法包括如下步骤,先将维护光学元件100级洁净度进行超声波清洗并烘干;然后在100级洁净度的环境中用优级乙醇进行擦拭去水,并压缩空气吹拂;最后使用洁净薄...
该专利属于中国工程物理研究院激光聚变研究中心所有,仅供学习研究参考,未经过中国工程物理研究院激光聚变研究中心授权不得商用。

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