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本发明提供一种具备保护膜的薄膜晶体管基板及其制造方法，该基板可赋予高的驱动稳定性。一种薄膜晶体管基板，其为包含薄膜晶体管、以及由覆盖薄膜晶体管的感光性硅氧烷组合物的固化物形成的保护膜的薄膜晶体管基板，其特征在于，薄膜晶体管具有由氧化物半导体...该专利属于国立大学法人奈良先端科学技术大学院大学;AZ电子材料（卢森堡）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过国立大学法人奈良先端科学技术大学院大学;AZ电子材料（卢森堡）有限公司授权不得商用。