下载用于多晶硅还原炉的底盘组件的技术资料

文档序号:11824975

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种用于多晶硅还原炉的底盘组件,所述用于多晶硅还原炉的底盘组件包括:底盘本体,所述底盘本体内限定有从所述底盘本体的中心处旋向所述底盘本体的边缘处的四个螺旋流道,所述底盘本体上设有分别与四个所述螺旋流道连通的至少四个冷却液进口...
该专利属于中国恩菲工程技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中国恩菲工程技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。