下载一种建筑用等离子体清洗系统的技术资料

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本实用新型公开了一种建筑用等离子体清洗系统,其特征在于:包括真空泵和与其连接的真空截止阀,真空截止阀与真空室连接,真空室还与第一流量调节阀、第二流量调节阀、射频电源、真空复合模块和充气阀连接,第一流量调节阀、第二流量调节阀分别与第一截止阀和...
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