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本发明涉及一种仪器和方法，所述仪器和方法用于将多个衬底装载到沉积反应器的装载室中的衬底支架内以在所述衬底支架内形成水平定向的衬底的垂直堆叠，用于转动衬底支架以形成垂直定向的衬底的水平堆叠，和用于将所述衬底支架下降至所述沉积反应器的反应室内用...
该专利属于皮考逊公司所有，仅供学习研究参考，未经过皮考逊公司授权不得商用。

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