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在FINFET装置的源/漏区上形成外延材料的方法及所形成装置制造方法及图纸
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下载在FINFET装置的源/漏区上形成外延材料的方法及所形成装置的技术资料
文档序号:11806165
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本发明涉及在FINFET装置的源/漏区上形成外延材料的方法及所形成装置,揭露一种示例装置,包括:定义于具有结晶结构的半导体衬底中的鳍片,其中,该鳍片的至少一侧壁基本朝向该衬底的<100>晶向设置;围绕该鳍片设置的栅极结构;邻近该...
该专利属于格罗方德半导体公司所有,仅供学习研究参考,未经过格罗方德半导体公司授权不得商用。
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