下载小面积离子束辐照小样品注入剂量的实时监测装置及方法的技术资料

文档序号:11797401

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本发明公开了一种小面积离子束辐照小样品注入剂量的实时监测装置及方法。本发明的监测装置包括:测束金属接收筒筒底、金属样品台、待辐照材料样品、测束金属接收筒、绝缘隔离圈、抑制电极、接线柱、束流积分仪和离子束调控装置。本发明将金属样品台与测束金属...
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