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本发明公开一种晶圆夹具及晶圆深槽腐蚀方法。该晶圆夹具包括外围挡圈，在所述外围挡圈的内表面连接有水平托台，在所述外围挡圈位于所述水平托台上方的内表面上设置有定位平面。根据本发明的晶圆夹具，构造为与晶圆的形状相适配，并且可以根据晶圆的尺寸来进行...
该专利属于无锡华润上华半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡华润上华半导体有限公司授权不得商用。

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