下载异物检测装置和涂布系统的技术资料

文档序号:11787737

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本发明公开了一种异物检测装置和涂布系统,所述异物检测装置包括并排设置的光发射单元和光接收单元,所述光发射单元用于发出照射在待检测的基板上的光,所述光接收单元用于检测所述基板反射回的反射光的光信号,所述光信号包括反射光的亮度分布信息以及反光点...
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