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一种居间薄膜的制备方法、居间薄膜及其纳米发电机技术
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文档序号:11786877
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本发明提供一种居间薄膜的制备方法、居间薄膜及其纳米发电机。本发明直接采用金属网格模板制备纳米发电机居间薄膜,避免了采用刻蚀硅片作为模板,所述带有金属网格的薄膜模板无需进行刻蚀,制备过程简单,进而简化了居间薄膜的制备工艺,且制备过程简单易行。...
该专利属于中国乐凯集团有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中国乐凯集团有限公司授权不得商用。
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